四點探針量測儀

中文名稱

四點探針量測儀 

英文名稱

Four Point Probe  

功能說明

6"晶圓I-V Curve及薄膜表面電阻量測

儀器服務項目

I-V Curve及薄膜表面電阻量測

儀器廠牌

EVERBEING 

型號

EB-6 

儀器規格

1. 是51/2數位電源含61/2電錶功能，且輸出功率至少20W，並內建數位I/O、IEEE-488和RS-232界面

2. DC量測範圍：
電壓1μV ~ 210V
電流10pA ~ 1.05A
電阻＜0.2Ω~＞200MΩ

3. DC輸出範圍：

電壓5μV ~ 210V
電流50pA ~ 1.05A

4. 功能：可測V、I、Ω、可作 2/4/6 線式歐姆測量、可程式控制電壓/電流和設定保護準位；同時取得I-V(V-I) CURVE 圖形

樣品準備及收費

委託操作費用($/hr)－300元       

自行操作費用($/hr)－200元

注意事項

1.試件需不可具有水分、磁性、揮發性物質。
2.本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性等之試件。

儀器放置位置

紅樓1F 微奈米科技共用實驗室-量測室