電漿清洗機
中文名稱
英文名稱
O2 Plasma Cleaner
功能說明
利用電漿原理來清潔試片表面之油脂及殘膠
儀器服務項目
1.清潔試片表面
2.改質
儀器廠牌
HARRICK PLASMA
型號
PDC-001
儀器規格
Chamber :6” *6.5 “
Input : 200W
Low :7.2W
Medium :10.2W
High :29.6W
樣品準備及收費
訓練費用($/人)-300元
檢定費用($/人)-200元
委託操作費用($/hr)-300元
儀器放置位置
紅樓1F 微奈米科技共用實驗室-無塵室