場發射電子顯微鏡

簡稱

FE-SEM

中文名稱

場發射電子顯微鏡

英文名稱

Cold Field Emission Scanning Electron Microscope 

功能說明

1.表面結構之觀察(SEI, BEI)
2.EDS元素分析

儀器廠牌

JEOL

型號

JSM-7500F 

儀器規格

1.解析度
a.1 nm (Acc. V=15 KV, WD=3 mm)
b.1.4 nm (Acc. V=1 KV, WD= 1.5 mm)

2.加速電壓範圍：0.1~30 KV

3.電子槍：Cold Field Emission Electron Gun

主要配件

樣品準備及收費

訓練費用($/人)－600元       

檢定費用($/人)－300元       

委託操作費用($/hr)－600元     

試片鍍白金:300/次 

EDS 15點以內一律收600元，15點以上，實收每點200元

注意事項

1.試片不得具有磁性、揮發性、及腐蝕性。
2.試片大小不得大於直徑25 mm。
3.試片厚度不得超過3 mm。

4.自98年9月1日起，場發射電子顯微鏡(FE-SEM)不得拍攝高分子材料，以避免儀器損傷，未事先告知者將馬上停止拍攝，並酌收1500元開機維護費。

儀器放置位置

紅樓1F 微奈米科技共用實驗室