中文名稱 |
掃描式電子顯微鏡 |
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英文名稱 |
Scanning Electron Microscope |
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功能說明 |
1.表面結構之觀察 2.EDS元素分析 |
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儀器服務項目 |
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儀器廠牌 |
HITACHI |
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型號 |
SU3800 |
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儀器規格 |
1.解析度SE 3.0nm/BSE 4.0nm/EDS 129ev 2.加速電壓範圍:0.3~30 KV 3.電子槍:Cold Field Emission Electron Gun |
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樣品準備及收費 |
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注意事項 | 試片不得具有磁性、揮發性、及腐蝕性 | ||||||||||
儀器放置位置 | 紅樓1F微奈米科技共用實驗室-無塵室 |